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美狮贵宾会DynamicWorkflow

文章出处:网络 责任编辑:深圳市美狮贵宾会,美狮会官版,美狮贵宾会首页半导体科技有限公司 发表时间:2024-01-07
 

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  由ngtai liudcofa zhenkor均bicozhun zhuan平hi动态流导法真空程序装t(vac~stand山dsysteyn场continuous flowthI’OL吵an orifice)又称小孔法或泻流法■■,是由动态平均形成已知压力来对泵乃夕 单级动态流导法程序装1道理示企图真空计G举行校准或分度的设施。图为单级动态流导法程序装备的道理示企图。由可调针阀引人到校准室的流量为口的气体通过流导为c的小孔到抽气室,终末被抽速为S的真空泵抽走■。当进人校准室的气体量与通过小孔被抽除的气体量相当时,相应地■■,抽气室内有一平均压力p■。。若s》c,则p》p■。。可遵循气体等温继续性道理■■,取得p的计较公式为: P=Q/C小孔流导C值,正在分子流前提下可遵循其几何尺寸算出。由针阀调治的分歧流量Q(用流量计侧得),正在校准室内可取得分歧的p值■。平时哀求泵的抽速S远比小孔的流导C值要大,以裁减抽速测定值偏差的影响及抽速振动的影响。采用众级小孔分流的打算可夸大校准下限■。动态流导法只实用于分子流前提,即气体分子之间碰撞简直不存正在的情景,这也是该法校准上限受限度的理由。动态流导法的甜头正在于裁减了被校真空计规管的吸放气效应的影响,是目前高真空和超高真空边界的厉重的校准门径■■。中邦修树的动态流导法真空程序装备的衡量边界为10一’Pa一10一ZPa,扩展不确定度正在10一“Pa一10一ZPa时为5%,正在10一,Pa时为10%。(转葱丈)

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